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當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > CVD及PECVD系統(tǒng) > CBD/PECVD系統(tǒng) > RTP-1000-F3LV快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV
簡(jiǎn)要描述：快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV是專為半導(dǎo)體基片、太陽能電池及其它樣品（尺寸可達(dá) 3″ ）的退火而設(shè)計(jì)，配有3路流量計(jì)和機(jī)械泵。本機(jī)采用 9KW的紅外燈進(jìn)行加熱，Z快升溫速度可達(dá) 100℃/s，配有RS485 接口，可以通過控制軟件在計(jì)算機(jī)上控制運(yùn)行并顯示溫度曲線。
產(chǎn)品型號(hào)：RTP-1000-F3LV廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2016-04-12訪 問 量：3485產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品型號(hào) | 快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV |
主要特點(diǎn) | 1、雙層Al2O3纖維鋼構(gòu)，無需水冷或風(fēng)冷。 2、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命。 3、PID控制器 ，可以設(shè)置30段升降溫程序，并設(shè)有過熱保護(hù)和斷偶功能。 4、已通過CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源：?jiǎn)蜗?/span>208-240V AC 50/60Hz 9KW 2、石英管：外徑Φ110mm，內(nèi)徑Φ103mm，長(zhǎng)380mm 3、加熱元件：紅外燈管，直徑Φ10mm，長(zhǎng)300mm 4、加熱區(qū)：300mm 5、工作溫度：zui高溫度1100℃ 6、控溫精度：±0.5℃ 7、zui高升溫速度：RT-800℃時(shí)為50℃/s，800℃-1000℃時(shí)為10℃/s 8、溫控儀：可控硅（SCR）PID自動(dòng)控制 9、真空法蘭：不銹鋼，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫O型圈密封，長(zhǎng)時(shí)間在>900℃條件下運(yùn)行必須采用水 冷，循環(huán)水流量為0.5m3/hr 10、真空度：10-3torr 11、流量計(jì)：3個(gè)，量程40-400cc/min，精度4%FS |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：爐體760mm×330mm×530mm，真空混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm 重量：爐體45kg，真空混氣系統(tǒng)30kg |
可選配件 | 防腐型數(shù)字真空計(jì) |
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