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VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

簡(jiǎn)要描述:VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝、晶體、光盤、制版等表面涂膜制備。VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)是一款高性能精密勻膠機(jī),采用了優(yōu)良的設(shè)計(jì)理念,配合精密的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作。設(shè)備腔體采用聚丙烯材質(zhì),具有耐熱性、電絕緣性、和良好的高耐磨加工性能等特點(diǎn)。本機(jī)腔體不可抽真空,工作時(shí)利用真空吸盤及氣路管線與外部真空泵相連,能很好的將樣件牢固的吸附在載樣盤上

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-02-13
  • 訪  問  量:1623

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地類別國產(chǎn)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝、晶體、光盤、制版等表面涂膜制備。VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)是一款高性能精密勻膠機(jī),采用了優(yōu)良的設(shè)計(jì)理念,配合精密的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作。設(shè)備腔體采用聚丙烯材質(zhì),具有耐熱性、電絕緣性、和良好的高耐磨加工性能等特點(diǎn)。本機(jī)腔體不可抽真空,工作時(shí)利用真空吸盤及氣路管線與外部真空泵相連,能很好的將樣件牢固的吸附在載樣盤上,此方式操作簡(jiǎn)便、樣件取放自如,吸盤真空度可達(dá)到﹣0.08MPa。旋轉(zhuǎn)主軸采用高速直流無刷電機(jī),噪音低、振動(dòng)小、運(yùn)行更加平穩(wěn)、可靠性高、適應(yīng)性強(qiáng)、維修與保養(yǎng)簡(jiǎn)單,電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定,加速后運(yùn)行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡(jiǎn)單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點(diǎn),主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過程。

技術(shù)參數(shù)VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

產(chǎn)品名稱

VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-100PAH

安裝使用條件

1、溫濕度:10-85%RH (at 25℃ 無凝露) 溫度:0-45℃。

2、設(shè)備周圍無強(qiáng)烈震源和腐蝕氣體。 水源 無此需求

3、電源:AC100-240V 50/60Hz 國標(biāo)三極插座 10A 必須有良好接地

4、氣源:真空負(fù)壓(真空泵):抽氣流量不小于 70L/M

5、工作臺(tái):建議 800X600X700mm 承重 50KG 以上(固體水泥臺(tái)為佳)

6、通風(fēng)裝置:無特殊要求

技術(shù)參數(shù)

1、設(shè)備供電:DC24V 標(biāo)配適配器:IN AC100-240V 50/60Hz  OUT DC24V 15A

2、總功率:150W(不含外接真空泵)

3、主機(jī)腔體(材質(zhì)):聚丙烯+亞格力

4、載樣盤(吸盤):2英寸、 4英寸各一個(gè)

5、運(yùn)行程序:包含16個(gè)運(yùn)行階段

6、涂膜轉(zhuǎn)速:1500-20000rpm有效(遞增量為:100rpm為單位)

7、增加速率設(shè)置范圍:100 rpm/s—6000 rpm/s

8、減速停車速率范圍:100 rpm/s—3000 rpm/s

9、時(shí)間設(shè)定范圍:1-99s(設(shè)定速度范圍:1500至10000rpm);

1-60s(設(shè)定速度范圍:大于10000至20000rpm)

10、真空接口:快插接頭,采用φ8 PU管連接

11、操作控制方式:7寸觸摸屏(人機(jī)界面)

產(chǎn)品規(guī)格

重量:12kg

外形尺寸:250×340×320mm

備注

設(shè)備隨機(jī)標(biāo)配“電源適配器",其規(guī)格參數(shù)為:IN:AC100-240V 50/60Hz OUT:DC24V 15A,設(shè)備實(shí)際供電以產(chǎn)品后部標(biāo)牌參數(shù)為準(zhǔn)。

標(biāo)準(zhǔn)配件VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

序號(hào)名稱數(shù)量圖片鏈接
1真空吸盤(含O型圈)(2英寸和4英寸)2個(gè)VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)
2滴液器1個(gè)
3無油真空泵1個(gè)
4適配器24V/15A1個(gè)

可選配件VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

序號(hào)名稱功能類別圖片鏈接
1其它尺寸的真空吸盤(可選)
2國產(chǎn)移液槍(可選)
3進(jìn)口移液槍(可選)



 

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